高纯电子特气系列产品
高纯砷烷、磷烷等特种气体均为集成电路制备中的主要支撑材料,广泛应用于电子行业、太阳能电池、移动通信、汽车导航等方面,云顶娱乐yd3456-官网所售磷烷、砷烷产品纯度达到6N级别。
除此之外,云顶娱乐yd3456-官网还有磷烷混合气、砷烷混合气、乙硅烷混合气等各种混合气可售,其平衡气可选氢气H2、氦气He、氮气N2、氩气Ar等,其他混合气可根据客户要求定制,气瓶规格为47L、470L及定制规格。
磷烷
PH3
≥99.9999%
砷烷
AsH3
≥99.9999%
磷烷安全源
PH3
≥99.9997%
砷烷安全源
AsH3
≥99.9995%
三氟化硼安全源
BF3
≥99.9%
磷烷混合气
99.9999%/99.99999%
砷烷混合气
99.9999%/99.99999%
硅烷混合气
99.9999%/99.99999%
乙硼烷混合气
99.999%/99.9999%
乙硅烷混合气
99.999%/99.9999%